應(yīng)用案例 | DIL測試碳化硅的燒結(jié)過程

DIL測試碳化硅的燒結(jié)過程

簡介

碳化硅（SiC）是由硅和碳組成的陶瓷，人造的碳化硅作為研磨料，商品名為金剛砂，也可作為半導(dǎo)體材料和碳硅寶石。最常見類型是α-碳化硅，其合成溫度超過2000°C，結(jié)構(gòu)呈六方晶系。另一種β-碳化硅呈面心立方結(jié)構(gòu)，制備溫度通常低于2000°C，但商業(yè)價(jià)值不高。碳化硅的比重為3.2g/cm3，熔點(diǎn)溫度高達(dá)2700°C，呈化學(xué)惰性，熱膨脹系數(shù)很低，并且不會發(fā)生相轉(zhuǎn)變，非常適合用作高溫軸套和爐體材料。

測試條件

溫度范圍：1000…2200°C       

樣品長度：18.66mm               

校正標(biāo)樣：Poco 石墨

升溫速率：5K/min                        

氣氛：He

測試結(jié)果

上圖是碳化硅生坯（主要是由SiC粉末和燒結(jié)助劑混合而成）在1000°C到2200°C下熱膨脹測試曲線，呈兩步燒結(jié)步驟。第一步燒結(jié)收縮速率在1313°C達(dá)到最大，這是因?yàn)闊Y(jié)助劑的減少。第二步收縮速率在1817°C達(dá)到最大，這是由于坯體的收縮/致密化造成的。該例說明使用DIL 402測量超過2000°C的陶瓷燒結(jié)過程是*沒有問題。

編譯：

朱明峰

曾智強(qiáng)